測器功能名稱:超大視野MV12801 外觀異物缺陷檢查裝置
檢測方式:手動放片 + X Y 自動檢測平臺 + Z 電動焦距
檢測對象物:12吋圓片 、8吋圓片 、 125mm*125mm 玻璃方片
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