機台種類: Vacuum Dryer 製程設備
光阻液的預烘烤前的真空吸泡泡作業、避免光阻烘乾後產生泡泡。

保固說明：
1. 零配件維修由貴公司收貨後， 30 天內上機測試後由貴公司簽收。
2.保固期12 個月。